SFC6000D/SFM6000D 질량 흐름 컨트롤러 및 계측기

단일 칩에서 정밀 센서 요소와 신호 처리를 결합한 Sensirion의 고정밀 유량 센서

Sensirion SFC6000D/SFM6000D 질량 흐름 컨트롤러 및 계측기 이미지SFC6000D 및 SFM6000D 제품의 핵심은 타의 추종을 불허하는 Sensirion CMOSens® 기술에 있습니다. 고정밀 센서 요소와 최첨단 신호 처리를 단일 칩에 결합하여 정확하게 보정되고 온도 보상된 신호를 제공합니다. 이 센서 기술 덕분에 Sensirion의 계측기와 컨트롤러는 매우 매력적인 시스템 비용으로 속도, 정확도 및 반복성에 대해 타의 추종을 불허하는 등급을 달성했습니다. CMOSens 칩의 우수한 장기 안정성으로 인해 재보정이 필요하지 않습니다.

SFC6000D는 초고속 설정 시간과 높은 제어 범위를 제공합니다. SFC6000D 및 SFM6000D는 여러 가스에 대해 공장에서 보정되었으며 기성 부품과 교환할 수 있는 기계적 커넥터와 관련하여 높은 유연성을 제공합니다.

SFC6000D 및 SFM6000D의 고성능 및 저비용은 가스 플러싱, FOUP, 분석 기기, 코팅 및 의료 장비, 프로세스 자동화, 가스 혼합과 같은 광범위한 응용 분야를 위한 최고의 선택입니다.

특징
  • 플라스틱 몸체와 고도로 통합된 전자 장치를 결합한 혁신적인 개념
  • 작은 폼 팩터 및 가벼운 무게
  • 높은 정확도/반복성(설정값의 2%/0.2%)
  • 넓은 제어 범위(500:1)
  • 초고속 정착 시간(100ms)
  • RS485 및 I²C 디지털 인터페이스
  • 교체 가능한 6mm 푸시인 및 다운마운트 커넥터
  • NIST 추적 가능 보정
  • 현장에서 드리프트 및 재보정이 필요하지 않음

SFC6000D Mass Flow Controllers and Meters

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Evaluation Kit

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게시 날짜: 2023-02-22