SFC6000D/SFM6000D 질량 흐름 컨트롤러 및 계측기
단일 칩에서 정밀 센서 요소와 신호 처리를 결합한 Sensirion의 고정밀 유량 센서
SFC6000D 및 SFM6000D 제품의 핵심은 타의 추종을 불허하는 Sensirion CMOSens® 기술에 있습니다. 고정밀 센서 요소와 최첨단 신호 처리를 단일 칩에 결합하여 정확하게 보정되고 온도 보상된 신호를 제공합니다. 이 센서 기술 덕분에 Sensirion의 계측기와 컨트롤러는 매우 매력적인 시스템 비용으로 속도, 정확도 및 반복성에 대해 타의 추종을 불허하는 등급을 달성했습니다. CMOSens 칩의 우수한 장기 안정성으로 인해 재보정이 필요하지 않습니다.
SFC6000D는 초고속 설정 시간과 높은 제어 범위를 제공합니다. SFC6000D 및 SFM6000D는 여러 가스에 대해 공장에서 보정되었으며 기성 부품과 교환할 수 있는 기계적 커넥터와 관련하여 높은 유연성을 제공합니다.
SFC6000D 및 SFM6000D의 고성능 및 저비용은 가스 플러싱, FOUP, 분석 기기, 코팅 및 의료 장비, 프로세스 자동화, 가스 혼합과 같은 광범위한 응용 분야를 위한 최고의 선택입니다.
- 플라스틱 몸체와 고도로 통합된 전자 장치를 결합한 혁신적인 개념
- 작은 폼 팩터 및 가벼운 무게
- 높은 정확도/반복성(설정값의 2%/0.2%)
- 넓은 제어 범위(500:1)
- 초고속 정착 시간(100ms)
- RS485 및 I²C 디지털 인터페이스
- 교체 가능한 6mm 푸시인 및 다운마운트 커넥터
- NIST 추적 가능 보정
- 현장에서 드리프트 및 재보정이 필요하지 않음
SFC6000D Mass Flow Controllers and Meters
| 이미지 | 제조업체 부품 번호 | 제품 요약 | 감지 범위 | 주문 가능 수량 | 가격 | 세부 정보 보기 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() | ![]() | SFC6000D-20SLM | MFC MASS FLOW CONTROLLER GAS | 20 SLM | 23 - 즉시 | $553,298.00 | 세부 정보 보기 |
![]() | ![]() | SFC6000D-5SLM | MFC MASS FLOW CONTROLLER GAS | 5 SLM | 59 - 즉시 | $553,298.00 | 세부 정보 보기 |
![]() | ![]() | SFC6000D-50SLM | MFC MASS FLOW CONTROLLER GAS | 50 SLM | 32 - 즉시 | $553,298.00 | 세부 정보 보기 |
SFM6000D Mass Flow Controllers and Meters
| 이미지 | 제조업체 부품 번호 | 제품 요약 | 감지 범위 | 주문 가능 수량 | 가격 | 세부 정보 보기 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() | ![]() | SFM6000D-50SLM | MFM MASS FLOW METER GAS | 50 SLM | 29 - 즉시 | $324,064.00 | 세부 정보 보기 |
![]() | ![]() | SFM6000D-5SLM | MFM MASS FLOW METER GAS | 5 SLM | 39 - 즉시 | $324,064.00 | 세부 정보 보기 |
![]() | ![]() | SFM6000D-20SLM | MFM MASS FLOW METER GAS | 20 SLM | 17 - 즉시 | $324,064.00 | 세부 정보 보기 |
Evaluation Kit
| 이미지 | 제조업체 부품 번호 | 제품 요약 | 주문 가능 수량 | 가격 | 세부 정보 보기 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
![]() | ![]() | EK-F5X SFC/SFM6XXX AND SFC/SFM5XXX | EVAL KIT SFC/SFM FLOW PRODUCTS | 144 - 즉시 | $290,043.00 | 세부 정보 보기 |




