SXUV100 광대역 광 다이오드
EUV 및 진공 UV 감지용으로 설계된 Opto Diode의 SXUV100 광대역 광 다이오드
Opto Diode의 SXUV100은 극자외선(EUV)과 진공 자외선(VUV) 방사선을 안정적으로 감지하도록 설계된 대면적 광 다이오드입니다. 100mm²의 활성 영역과 창문 없는 설계를 갖춘 SXUV100은 1nm ~ 200nm 파장 범위에 걸쳐 직접적인 광자 흡수와 안정적인 반응성을 제공합니다.
고진공 및 초고진공 환경을 위해 제작된 SXUV100은 싱크로트론 빔라인, 플라즈마 진단 및 기타 까다로운 과학 또는 산업 응용 분야에 사용하기에 이상적입니다. 광 다이오드는 장기적인 안정성과 방사선 저항성을 위해 산화물 부동태화 실리콘 접합을 특징으로 합니다.
낮은 암전류, 높은 션트 저항 및 견고한 기계적 설계를 갖춘 SXUV100은 EUV/VUV 정밀 측정이 중요한 분야에서 고성능 결과를 제공합니다.
- 넓은 스펙트럼 응답: 1nm ~ 200nm(EUV 및 VUV)
- 넓은 작동 영역: 100mm²
- 창문 없는 산화물 부동태화 실리콘 설계
- 고진공 환경에서의 안정성
- 낮은 암전류 및 높은 션트 저항
- 장기간 사용할 수 있는 견고한 고 내구성 구조
- 싱크로트론 빔라인 진단
- EUV 및 VUV 분광법
- 플라즈마 모니터링 및 진단
- 반도체 리소그래피 도구
- 진공 자외선 감지
- 과학 및 산업 연구 계측


