AXUV100G 대면적 광 다이오드
극자외선(EUV) 및 고에너지 감지를 위한 Opto Diode의 AXUV100G 대면적 광 다이오드
Opto Diode의 AXUV100G는 진공 환경이나 통제된 환경에서 극자외선(EUV), 연성 X선 및 고에너지 방사선을 직접 감지하도록 설계된 고성능 광 다이오드입니다. 100mm²의 넓은 활성 영역을 갖춘 이 검출기는 높은 감도와 넓은 공간 적용 범위를 요구하는 응용 분야에 최적화되어 있습니다.
AXUV100G는 1nm ~ 200nm 스펙트럼 범위에서 최대 광자 전송을 위한 창 없는 구조의 안정적인 산화물 수동화 실리콘 광 다이오드 구조를 특징으로 합니다. 저암 전류와 높은 션트 저항은 저잡음 측정을 지원하므로 과학 계측기, 싱크로트론 빔 모니터링, 반도체 리소그래피 도구에 이상적입니다.
고진공 호환성을 위해 설계된 AXUV100G는 정밀성과 안정성이 중요한 열악한 환경에서도 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다. 견고한 설계와 대면적 포맷 덕분에 빔라인 진단 및 고에너지 감지 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.
- 1nm ~ 200nm의 넓은 스펙트럼 응답(EUV 및 연질 X선)
- 넓은 활성 면적: 100mm²
- 최대 광자 감도를 위한 창문 없는 산화물 부동태화 구조
- 저잡음 작동을 위한 높은 션트 저항
- 낮은 암전류
- 진공 호환성 설계
- 뛰어난 기계적 안정성을 갖춘 내구성 있는 패키지
- 싱크로트론 빔라인 모니터링
- EUV 리소그래피 및 반도체 계측학
- 연질 X선 및 고에너지 광자 검출
- 과학 연구 및 계측
- 플라즈마 진단
- 극자외선 측정
- 고진공 감지 시스템


