AXUV100G 대면적 광 다이오드

극자외선(EUV) 및 고에너지 감지를 위한 Opto Diode의 AXUV100G 대면적 광 다이오드

Opto Diode의 AXUV100G 대면적 광 다이오드 이미지 Opto Diode의 AXUV100G는 진공 환경이나 통제된 환경에서 극자외선(EUV), 연성 X선 및 고에너지 방사선을 직접 감지하도록 설계된 고성능 광 다이오드입니다. 100mm²의 넓은 활성 영역을 갖춘 이 검출기는 높은 감도와 넓은 공간 적용 범위를 요구하는 응용 분야에 최적화되어 있습니다.

AXUV100G는 1nm ~ 200nm 스펙트럼 범위에서 최대 광자 전송을 위한 창 없는 구조의 안정적인 산화물 수동화 실리콘 광 다이오드 구조를 특징으로 합니다. 저암 전류와 높은 션트 저항은 저잡음 측정을 지원하므로 과학 계측기, 싱크로트론 빔 모니터링, 반도체 리소그래피 도구에 이상적입니다.

고진공 호환성을 위해 설계된 AXUV100G는 정밀성과 안정성이 중요한 열악한 환경에서도 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다. 견고한 설계와 대면적 포맷 덕분에 빔라인 진단 및 고에너지 감지 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.

특징
  • 1nm ~ 200nm의 넓은 스펙트럼 응답(EUV 및 연질 X선)
  • 넓은 활성 면적: 100mm²
  • 최대 광자 감도를 위한 창문 없는 산화물 부동태화 구조
  • 저잡음 작동을 위한 높은 션트 저항
  • 낮은 암전류
  • 진공 호환성 설계
  • 뛰어난 기계적 안정성을 갖춘 내구성 있는 패키지
응용 분야
  • 싱크로트론 빔라인 모니터링
  • EUV 리소그래피 및 반도체 계측학
  • 연질 X선 및 고에너지 광자 검출
  • 과학 연구 및 계측
  • 플라즈마 진단
  • 극자외선 측정
  • 고진공 감지 시스템

AXUV100G Large-Area Photodiode

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업데이트: 2025-08-11
게시 날짜: 2025-06-09