디지털 차동 압력 센서
Omron의 디지털 차동 압력 유형 MEMS 질량 유량 센서
Omron의 D6F-PH 디지털 차동 압력식 질량 유량 센서는 I²C 출력을 갖추고 전용 Omron 질량 유량 MEMS 칩을 사용합니다. 하지만 내부 유량 경로는 차동 압력을 출력하는 낮은 유량, 높은 속도, 높은 임피던스 센서로 새롭게 설계되었습니다. 이 센서는 각각 특정 압력 범위에 대해 정격화된 세 개의 모델로 제공됩니다. 센서는 여러 다른 가스에 대해 보정할 수 있습니다.


