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CMP 패드 컨디셔너
3M CMP 패드 컨디셔너는 패드와 디스크의 수명 연장을 위해 최적화되었습니다
3M 다이아몬드, 소프트 브러시, 마이크로 복제 화학 기계적 평탄화(CMP) 패드 컨디셔너는 가장 까다로운 공정 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 정밀하게 설계되고 마이크로 복제된 다이아몬드 코팅 세라믹 구조를 사용하는 3M Trizact™ 패드 컨디셔너는 가장 까다로운 고급 노드 공정에 대해 탁월하고 매우 일관된 디스크 간 성능을 제공합니다. 다이아몬드 패드 컨디셔너는 3M만의 독점적인 소결 연마 기술을 사용하여 다이아몬드와 기판 사이에 강력한 화학적, 기계적 결합을 제공하여 다이아몬드가 손상되지 않고 제자리에 고정되도록 하여 일관된 장기 컨디셔닝 성능을 제공합니다.
특징
- 광범위한 CMP 공정 및 공정 단계에 사용됨
- 패드와 디스크 수명 연장을 위해 최적화됨
- 다양한 패드 경도, 슬러리 및 공정 요구 사항에 대한 광범위한 솔루션
- 패드 및 디스크 수명이 길어 유지 보수 중단 횟수를 줄여 소유 비용을 절감할 수 있습니다.
- 맞춤형 컨디셔닝 공격성
응용 분야
- CMP
- 화학적 기계 연마
- 웨이퍼 제조
- 고급 노드(메모리 및 논리)
- 하드 디스크 드라이브 제조
게시 날짜: 2025-10-02
